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謝子德

你好,我是謝子德,目前就讀於中山大學光電工程學系碩士班,主要研究方向為半導體製程技術與優化。目前實驗室團隊製作過的結構有環形共振腔與長直波導,分別用於量測品質因子與產生超連續譜。除了製作結構,我們同時也用軟體設計結構並模擬真實情況,由於此研究需要極高的精確度,因此每個製程每種參數的機制都需要去了解,才可以分析各種參數造成的結構變化。

目前職稱:學生
城市,TW
[email protected]

0902366560

技能


E-beam lithography

為了製作各式各樣的結構,我們必須自行設計圖案,之後透過E-beam lithography的方式將我們想要的圖案寫到我們的光阻上


ICP-RIE

為了使光阻的圖案能複製到我們真正需要的材料上,我們透過ICP-RIE此種乾式蝕刻,將光阻未遮蔽的材料部份侵蝕掉以形成我們所真正需要的結構


PECVD

為了將結構上方不置於空氣中進行保護,需要鍍一層薄膜上去,而PECVD正好符合我們的需求

Scanning Electron Microscope

電子顯微鏡為非常重要的一項檢測工具,它能夠幫助我們確認我們每一步的製程的正確性與誤差,透過SEM我們能夠清晰地看到結構的寬高與梯度角,藉此看到並分析製程結果。

Dicing saw

為了將芯片大小控制在結構大小附近,我們必須精確且在不傷到結構的情形下去進行定義,而切割機(Dicing saw)適用於小size的晶圓切割,可以達成我們的目標。

學歷

國立中山大學光電工程學系碩士班,2019 年 9 月 - 至今

108在校均GPA 3.7,於在學期間參加台灣真空學會舉辦之「真空技術研討會暨理論與實務/操作全系列訓練班」結業合格,以及台灣半導體研究中心「半導體製程技術訓練班」「半導體設備見習班」期滿成績及格。

曾參加2019年台灣物理年會暨科技部計畫成果發表會。

逢甲大學光電科學與工程學系,2015 年 9 月 - 2019 年 6 月

在校系排名為前20%,大二時於「電子學」課程中透過Ardiuno軟體製作出光電遮斷器。


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